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使用空氣彈簧的常識
空氣彈簧一般由馬氏體材料和根據客戶要求制造。尺寸挑選合理，應力合適，活塞桿行程尺寸8mm的余量。選用球形空氣彈簧和鉸鏈式波紋管，應加裝導向支架，防止波紋管失去穩定性。選用其他方式，補償管路過長時，還需提供導向支撐。補償管路較長時要選用減小摩擦。
使用空氣彈簧的常識
空氣彈簧的密封結構設計大多選用構造，兩側，端面為光滑突面，兩兩側用螺釘連接到可以密封嚴密。隔離外部環境對印壓光刻機的影響，能夠保護壓印機不受低頻激振力的激發。確定了低頻單度減震系統的減震原理，確定了剛度及減震系統的共振頻率，并與實際減震系統的實驗結論相符合，表明印壓光刻機低頻減震設計合理可行。
使用空氣彈簧的常識
空氣彈簧可以同時承受多向負載，從而簡化系統結構，具有極強的內阻。對于吸收突然沖擊、高頻振動和隔音有很大的幫助，形狀不限，各方向剛度可根據設計要求隨意挑選，雖然彈性模具小的邊緣尺寸和曲囊直徑，但可以獲得較大的彈性變形，容易達到理想的非線性特點。
