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橡膠空氣彈簧隔振設計及性能分析
壓印光刻機是一種精密儀器,外界環境激勵對壓印光刻機的影響很大。橡膠空氣彈簧是一種減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外界環境對壓印光刻機的干擾,能保護壓印光刻機免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機低頻橡膠空氣彈簧單自由度隔振系統的隔振原理,確定橡膠空氣彈簧的剛度及隔振系統的固有頻率,隔振系統的固有頻率及隔振效率的理論結果與實際隔振系統的試驗結果相吻合,表明壓印光刻機的低頻隔振設計是合理可行的。
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