1、內漏多發生在有水冷套的設備上，查外漏沒有發現疑點，但是卻有以下現象：機械空氣彈簧的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械空氣彈簧油很快乳化、真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內漏。先把內壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。
2、小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。最好是反復幾次，確認漏點。
3、較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。